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地址:
湖南省株洲市天元區(qū)泰山西路2008號聯(lián)合廠房八

氮化硅陶瓷基板爐
產(chǎn)品介紹
氮化硅陶瓷基板爐具有高穩(wěn)定性、高人性化、低維護(hù)的特點，采用非接觸式高溫測量、真空系統(tǒng)過濾保護(hù)、獨特尾氣處理設(shè)計。主要用于氮化硅流延基板先進(jìn)材料等進(jìn)行真空，脫氣、加壓致密化等，廣泛應(yīng)用于航天航空、電子電器半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
 
產(chǎn)品參數(shù)
裝料空間（W*H*L） 600*600*1400
溫度均勻性 ≤±4℃
最高工作溫度 2200℃
最高工作壓力 2MPa

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